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WCM » News » November 2003 » Intel: 65nm Prozess

PCs & Komponenten
Intel: 65nm Prozess
Veröffentlicht am 25.11.2003 13:59:41

Dem Chipriesen gelang es nun SRAM-Bausteine mit einer Strukturgröße von nur 65 nm zu fertigen. Es geht voran, bzw. es wird immer kleiner. Der Rekord des kleinsten Transistors kann die Berkeley University für sich verbuchen, die schon experimentell mittels der FinFET-Technologie, Transistoren mit nur 18 nm Gatelänge erzeugt haben.
Intel hat immerhin schon 20 Nanometer erreicht.

Diese Transistoren sind allerdings alle nur im Labor hergestellt worden und Produkte gibt es sowieso keine. Die kleinsten nutzbaren Produkte stellt Intel in einem 65 Nanometer Fertigungsprozess her. Hierbei haben die Transistoren eine Gatelänge von nur 35 Nanometer.

Die Verkleinerung erreichte man unter anderem durch die zweite Generation des Strained Silicon. Dank Strained Silicon fließt der Strom effizienter und mit nur 2% höheren Fertigungskosten lassen sich damit schnellere Transistoren bauen. Die Interconnects wurden mit Kupfer und einem neuem Low-k Dielektrikum realisiert, wodurch die Signalgeschwindigkeiten innerhalb des Prozessors erhöht wird.

Die erste typische Anwendung von neuen noch kleineren Strukturgrößen sind meist SRAMs (Static Random Access Memory), so auch hier.
Intel hat in der 300 mm Wafer Entwicklungsfabrik D1D schon erste bereits voll funktionstüchtige 4 Megabit 6T-SRAM Bausteine (jede SRAM Zelle besteht aus sechs Transistoren). Der 65 Nanometer Fertigungsprozess beginnt planmäßig in D1D für die Massenproduktion und wird auf weitere 300 mm Produktionsstätten Anfang 2005 ausgedehnt.

"Intel setzt mit der 65nm Technologie den seit 15 Jahren bestehenden Trend fort, alle zwei Jahre einen neuen Fertigungsprozess einzuführen. Tatsächlich sind sogar nur 20 Monate vergangen, seit wir die volle Funktionsfähigkeit von SRAMs auf Basis unseres 90nm Prozesses angekündigt haben.", so Dr. Sunlin Chou, Senior Vice President und General Manager der Intel Technology und Manufacturing Group. "Damit verlängern wir nicht nur die Gültigkeit von Moore's Law, sondern können auch noch bessere Produkte produzieren, während wir gleichzeitig die Fertigungskosten senken."

Intel

wan

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