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Network & Solutions
Chip-Thermometer
Veröffentlicht am 16.01.2001 00:00:00
Wissenschafter am Institut für Mikrostrukturtechnologie und Analytik (IMA) der Universität in Kassel und Wissenschaftler der Universität Maryland in den USA, haben nun das weltweit kleinste "Chip-Thermometer" entwickelt. Es misst mit einer Genauigkeit von einem Tausendstel Grad Celsius. Es ist buchstäblich winzig und weist einen Durchmesser von etwa 100 Nanometer auf. Um diese Genauigkeit zu erhalten wird die Änderung des elektrischen Thermoschleifenwiderstandes bei einer Temperaturveränderung genutzt. Befestigt man die Thermoschleife auf einem weichen Biegebalken, so kann die Abtastspitze die Topologie des Chips sichtbar machen. Hierbei macht man sich die Kraftwechselwirkung der Spitze zur Oberfläche zu Nutze.
Veröffentlicht am 16.01.2001 00:00:00
Wissenschafter am Institut für Mikrostrukturtechnologie und Analytik (IMA) der Universität in Kassel und Wissenschaftler der Universität Maryland in den USA, haben nun das weltweit kleinste "Chip-Thermometer" entwickelt. Es misst mit einer Genauigkeit von einem Tausendstel Grad Celsius. Es ist buchstäblich winzig und weist einen Durchmesser von etwa 100 Nanometer auf. Um diese Genauigkeit zu erhalten wird die Änderung des elektrischen Thermoschleifenwiderstandes bei einer Temperaturveränderung genutzt. Befestigt man die Thermoschleife auf einem weichen Biegebalken, so kann die Abtastspitze die Topologie des Chips sichtbar machen. Hierbei macht man sich die Kraftwechselwirkung der Spitze zur Oberfläche zu Nutze.
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