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WCM » News » April 2001 » 0,03µm dank extrem ultravioletten Licht

Network & Solutions
0,03µm dank extrem ultravioletten Licht
Veröffentlicht am 12.04.2001 23:00:00

Im November 2000 haben Intels Mannen der staunenden Öffentlichkeit den weltweit kleinsten und schnellsten Transistor vorgestellt, der in 0,03µm gefertigt wurde. Zur Verdeutlichung dieser Leistung. Bis jetzt ist VIAs C3, der von TSMC gefertigt wird, der einzige Prozessor am Markt mit 0,13µm Technologie. IBM verfügt erst über die Technologie Chips in 0,10µm herzustellen.
Nun stellte ein Konsortium aus Industrie und Forschung, in dem unter anderen Intel, Motorola, AMD, Micron, Infineon, IBM und auch einige US-Behörden zu finden sind, einen Prototypen einer Fertigungseinrichtung vor, mit der man in 0,03µm fertigen könnte.
Möglich sollen die kleinen Abstände durch die Verwendung von "extrem ultravioletten Licht' (EUV) werden. Die Forscher halten es durchaus für möglich in den nächsten fünf Jahren die 10GHz-Schwelle erreicht zu haben.

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